M系列气体质量流量计

性能

• 可用量程：最大0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
• 可调比：200:1（M系列）或者100:1（MS系列）
• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
• 可重复性：0.2%满量程
• 标准控制器响应时间常数：5-10ms
• 无需预热时间

工作条件

• 兼容气体：98（MB系列）或130（MBS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
• 工作温度：-10°C至+60°C
• 最大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
• 最大差压（进口至出口）：75 psid
• 耐受压力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）